换气率测试的目的是确定洁净室内每小时空气的交换次数。每小时换气率 (ACH) 是通过测量洁净室送入或返回的气流量,并计算洁净室的总容积来确定的。
· 测试程序 ·
· 确定洁净室是处于正压还是负压。
· 如果压力为正,请使用流量罩测量并记录流经过滤器的送风量。使用流量直读式流量罩时,请根据每种过滤器的应用选择合适尺寸的捕集罩。
· 如果压力为负,则使用适合应用的仪器测量并记录所有回风口和工艺排气装置捕获的回风/排气风量。
· 测量洁净室空间的体积。
根据以下公式计算每小时换气率
每小时换气次数 (ACH) ACH = Q / V
其中: Q = 气流 m³ /hr
V = 体积 m³
每小时换气次数 (ACH) ACH = (Q • 60) / V
其中: Q = 气流 ft³ /min
V = 体积 ft³
60 = 分钟/小时