洁净室颗粒物测试标准由 ISO-14644-1 和 ISO-14644-2 制定。在对洁净室进行颗粒物测试时，请务必遵循这些标准。环境科学与技术研究所 (IEST) 与 ISO 合作制定测试标准。定期正确执行颗粒物测试对于确保洁净室正常运行至关重要。本博客介绍了洁净室颗粒物测试中常见的错误。
| 级别 | Maximum Particles/m³ | FED STD 209E 等效标准 | |||||
| >0.1 um | >0.2 um | >0.3 um | >0.5 um | >1 um | >5 um | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Class 1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Class 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Class 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室内空气 | |||
错误＃1：在洁净室中没有采集足够的样本位置
ISO-14644-1 2015 大幅增加了洁净室测试所需的采样位置数量。请确保采样位置数量正确。
| 房间面积 m² | 房间面积 ft² | ISO-14644-1: 1999 | ISO-14644-1 2015 |
| 52 | 560 | 8 | 10 |
| 56 | 603 | 8 | 11 |
| 64 | 689 | 8 | 13 |
| 68 | 732 | 9 | 13 |
| 72 | 775 | 9 | 14 |
| 76 | 818 | 9 | 15 |
| 104 | 1119 | 11 | 16 |
| 108 | 1163 | 11 | 17 |
| 116 | 1249 | 11 | 18 |
| 148 | 1593 | 13 | 19 |
| 156 | 1679 | 13 | 20 |
| 192 | 2067 | 14 | 21 |
| 232 | 2497 | 16 | 22 |
| 276 | 2971 | 17 | 23 |
| 352 | 3789 | 19 | 24 |
| 436 | 4693 | 21 | 25 |
| 636 | 6845 | 24 | 26 |
| 1000 | 10764 | 32 | 27 |
| >1000 | >10764 | n/a | 见公式 |
对于面积大于 1000 平方米的房间，使用以下公式：NL = 27 x (面积 ㎡ / 1000)
错误＃2：使用错误类型的粒子计数器来测试您的洁净室
手持式粒子计数器仅可用于寻找粒子源。它们无法测试足够大的空气体积，因此无法准确测量洁净室中的粒子密度。应使用台式粒子计数器测量洁净室中的粒子密度。台式粒子计数器通常测量：较低流速（0.1 cfm）的洁净室粒子计数器可用于较低级别的 ISO-7 洁净室和 ISO-8 洁净室。较高流速（1.0 cfm）的洁净室粒子计数器则适用于较高级别的 ISO-5 洁净室和 ISO-6 洁净室。
错误＃3：没有每年校准粒子计数器
粒子计数器应每年由制造商或授权的第三方服务机构按照NIST可追溯标准进行校准。正确校准的设备是获得精确粒子计数测量的必要条件。
错误＃4：采取正确的粒子测试测量
竣工洁净室颗粒物测试是在洁净室刚刚竣工时进行的测试。通常情况下，洁净室中没有设备或人员。静止洁净室颗粒物测试是在洁净室已投入使用且配备设备，但无人员在场且无任何操作进行时进行的测试。运行洁净室颗粒物测试是在人员在洁净室内工作并操作设备时进行的测试。公司的 QA / ISO / CGMP 程序将规定需要进行哪种洁净室颗粒物测试。
错误＃5：假设连续测量颗粒测量系统无需每年进行颗粒测试
一些洁净室配备了连续测量颗粒物测量系统。这些系统仅在每个房间的几个固定位置采样。为了满足 ISO-14644 标准并进行有效的洁净室颗粒物测试，需要设置比固定位置更多的测试点。因此，仍然应该定期进行手动洁净室颗粒物测试，以确保您的洁净室符合其设计的洁净室等级。
总结：
定期进行有效的洁净室颗粒物测试对于确保洁净室正常运行至关重要。ISO14644-1 和 ISO14644-2 是洁净室分类和洁净室颗粒物测试的 ISO 标准。洁净室颗粒物测试中最常见的五个错误是：
1) 采样点不足
2) 未使用正确的颗粒物计数器
3) 未定期校准颗粒物计数器
4) 未选择洁净室颗粒物测试要求
5) 依赖连续测量系统而非定期进行洁净室颗粒物测试。